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プラズマクリーナー V1000/1000X/1000XS
クリーナー 【特徴】 ○RIE・DPの両モードを搭載 ○電極2段式方式を採用し、処理効率がアップ（V1000X） ○プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ○高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ヤマト科学株式会社
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