精密ステージ・テーブル

平面度0.001mm以下の精度を実現（φ12インチの場合）

1.ウエハ吸着用テーブルや測定用ステージの新規作成 2.使用中のステージの磨耗修正 φ12インチサイズで平面度0.001mmが実現可能です。 材質はSUS、セラミック、ガラスなどをはじめ、チタン、モ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティ・ディ・シー

石定盤修正研磨・新規製作

磨耗した石定盤・ステージを新品同様の精度に甦らせます

ご使用中の治具、定盤、吸着板などの面を研磨にて修正致します。また新規製作も材料の手配から精度管理まで一括して製作いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティ・ディ・シー