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超純水(UPW)の供給用バルブと流量計をご提案
最終工程で超純水によって再度洗浄されます。 その後のエッチング工程で発生した残留物を除去するためにも超純水による洗浄が必要となります。 このような製造工程中のウェハー表面を清浄に保つことが,発電効率を最大限に発揮することにつながります。 当社では,超純水の処理・ 供給設備およびプロセス設備での使用に特化して開発した,ダイアフラムバルブをご用意しております。...
メーカー・取り扱い企業: ゲミュージャパン株式会社
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