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液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…
■100nm以下 ・ALDによる受託成膜例 【成膜スペック】 ワーク:ウェハ、金属(SUS、アルミ、銅など)、樹脂、フィルム他 サイズ:一辺100mm程度あれば形状は問いません 【適応膜】 SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、HfO₂等 ■100nm~1μ程度 ・DLCによる受託成膜例...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介!
【ALDによる受託成膜例】膜厚100nm以下 ■成膜スペック ワーク:ウェハ、金属(SUS、アルミ、銅など)、樹脂、フィルム他 サイズ:一辺100mm程度あれば形状は問いません ■適応膜 SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、ZrO₂、HfO等 【DLCによる受託成膜例】膜厚100nm~1μ程...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能!
【成膜スペック】 有機物等へ成膜の場合 ワーク種:ウェハ、金属(SUS、アルミ、銅など)、樹脂・フィルム他 ワークサイズ:一辺100mm程度であれば形状を問いません 磁性粉体や全個体電池、金属微粒子等粉体へ成膜の場合 ワーク種:磁性粉体、全個体電池(硫化物系、酸化...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能!
クサイズ:Φ100~300mm(不定形・円筒も可能) 層形成:単層膜、多層膜可(MAX4層) パターン蒸着:メタルマスク対応(オプション) 【適応膜】 高融点金属、クロム、シリコン、アルミ、銅、SiO₂、SiN、ZnO など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス
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