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高精度コンタクト圧制御!簡易的な光ナノインプリント実験も可能
■露光性能(標準) ・コリメータレンズ方式250Wφ80mm 均一度±15% ・6mW/cm2 at365nm(アップグレード可能) ■アライメント方式 ・双対物CCD&モニタ観察顕微鏡による目視アライメント ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック
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プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光!ナノテックの露光…
できます。 コンパクトなので通常の片面露光マスクアライナーとしても使用でき、 各種MEMSや半導体素子の両面デバイス開発を支援します。 【特長】 ■裏面観察専用の双対物2視野CCD顕微鏡搭載 ■対物レンズ間隔最小16mm ■小型試料のアライメントまで可能 ■裏面アライメントに最適化されたフリーズワイプ処理装置を装備 ■試料アクセスに便利なフロントスライド式高精度アライメン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック
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