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Roll to Roll Sputtering System
Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備
Roll to Roll Sputter SystemはFlexible Display用フィルムなど機能性フィルム製造用コーティング装備で薄いフィルムにコーティング膜の厚さを維持しながら高速コーティ…
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平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備
In-Line Sputter Systemは平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備で連続的な大量生産に最適な競争力を持ちます。
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一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式
Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。
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PET Filmの前処理 & Filmの熱収縮の調整 ＆ITO膜の連続結晶化
Smart film Vacuum Conditioner(SVC)はPET Filmの脱ガス・脱水分などの前処理及びFilmを無張力状態に加熱処理することで、Filmの熱収縮の調整（平坦化）、…
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