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フォトスペーサ―(PS)向けネガ型レジスト材料『GLRシリーズ』
高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。
『GLRシリーズ』は、下記特性を持つ高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 50 mJ/cm2 ■ 良好なパターニング性:4~20μm ■ 高透過率:≧ …
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オーバーコート、絶縁膜向けネガ型レジスト材料『CHNシリーズ』
スルーホール形状やアイランド形状が作製可能なネガ型レジスト材料です。
『CHNシリーズ』は、下記特性を持つオーバーコート(OC)および絶縁膜向けのネガ型レジスト材料です。 ■ 高感度:≧ 50 mJ/cm2 ■ 高透過率:≧ 99% ■ 低温硬化可能:≧ 10…
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