パーティクルコレクターの標準品をリリースしました
パーティクルコレクターとは、弊社が半導体分野で長年培ってきた「静電チャック」の技術を応用し、パーティクル対策に特化させた、空間内のパーティクルを捕捉するツールです。 ▽静電吸着式 パーティクルコレク…
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