エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 パイオファインカートリッジ（半導体用ガス精製器）
- 最終更新日：2020-02-13 11:10:09.0
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半導体用ガス精製器です。
独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮します。
【特長】
・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を
実現し、よりユースポイント近くでの精製が可能です。
・高性能フィルターおよび出荷前のベーキング処理によりパーティクル/脱ガスについての
万全の対策を施しています。
・特別なユーティリティの必要はありません。（N型、B型は再生可能です。）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報パイオファインカートリッジ（半導体用ガス精製器）
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| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | MODEL-PF |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログパイオファインカートリッジ（半導体用ガス精製器）
取扱企業パイオファインカートリッジ（半導体用ガス精製器）
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当社特許「パラジウム膜透過法」の技術を基にした「水素高純度精製装置」の製造・販売ヲスタートしました。その後、触媒技術や吸着技術を確立して、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム等の各種ガスの精製装置の製造・販売に展開しました。また、特殊材料ガスの精製器「パイオフアイン」や毒性ガスを除害する「排ガス処理装置「パイオクリン」の開発・製品化を展開しております。
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