マイクロデバイス製造関連装置ウシオライティング

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。

基本情報マイクロデバイス製造関連装置

半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。

【片面マスクアライナー】
本装置は、半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光好悪体に用いられます。研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。
光源は250kw〜5kw。露光サイズは200パイmmまで取り揃えております。

【オートアライナー装置】
本装置はカセットtoカセット搬送システムを搭載した、全自動全面一括露光装置です。
多様なデバイスの量産用アライナーとして、ローダー、アンローダー搬送システムを構築し、
生産量をアップします。

※詳細は、カタログをダウンロードの上、資料請求下さい。

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ウシオライティング株式会社

一般照明､特殊照明･ランプでは､LED電球･ライト､ステージ･スタジオ･演出照明用ランプから､検査･特殊照明用ランプ､投光器､赤外線ヒータ､セキュリティ用赤外線LED照明､植物育成用LED照明などにより､ユーザが必要とする｢光｣に対して､最適なランプ､光源で応えます｡産業システム・機器では､露光装置をはじめとする「光」を応用した製品､射出成形機､プラスチック関連機器・素材､継手､チューブなど広範なプラスチック関連製品､各種ロボット､自動組み立て機､ストローアプリケータ､外観検査装置などのFA･食品・包装関連システムの販売をつうじて､ユーザが抱える問題に対して、最適なソリューションを提供します。