ウシオライティング株式会社 両面マスクアライナー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。

基本情報両面マスクアライナー

ウェハ、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。
両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能です。


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用途/実績例 半導体分野

取扱企業両面マスクアライナー

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ウシオライティング株式会社

一般照明、特殊照明・ランプでは、LED電球・ライト、ステージ・スタジオ・演出照明用ランプから、検査・特殊照明用ランプ、投光器、赤外線ヒータ、セキュリティ用赤外線LED照明、植物育成用LED照明などにより、ユーザが必要とする「光」に対して、最適なランプ、光源で応えます。 産業システム・機器では、露光装置をはじめとする「光」を応用した製品、射出成形機、プラスチック関連機器・素材、継手、チューブなど広範なプラスチック関連製品、各種ロボット、自動組み立て機、ストローアプリケータ、外観検査装置などのFA・食品・包装関連システムの販売をつうじて、ユーザが抱える問題に対して、最適なソリューションを提供します。

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