株式会社四葉機械製作所 VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ
- 最終更新日:2024-11-22 11:08:00.0
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独自の冷却技術を用いた 多段ルーツ式真空ポンプ
【特徴】
○ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で
運転を実現し、使い易さを追求
○ステンレス(SCS13.14.16)製真空ポンプの製作が可能
その他の特殊材質についても対応可能
○擬縮性ガスの吸引でも連続運転が出来ます。
○真空ポンプケーシング内部の洗浄が容易に行える
○高温ガス130℃を直接吸引することができる(標準材・FC)
○吸引と同時に圧送ができる(特殊仕様により0.1MPa・Gまで可能)
○大気圧から締切り運転まで各真空度での連続運転が可能
基本情報VP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ
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価格情報 | - |
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用途/実績例 | 【用途】 ○真空蒸留 ○真空脱気 ○真空管層 ○CVD ○スパッタリング ○エッチング ○真空チャック |
カタログVP型ドライルーツ式 真空ポンプ VPシリーズ
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