株式会社ティ・ディ・シー 精密ステージ・テーブル
- 最終更新日:2016-08-18 09:56:14.0
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平面度0.001mm以下の精度を実現(φ12インチの場合)
弊社(株式会社ティ・ディ・シー)は、各種素材に対する超精密鏡面研磨加工、その他精密機械加工全般を得意とします。
材質、サイズ、加工精度、その他製品仕様についてお客様のご要望にお応えいたします。お気軽にお問い合わせください。
その他弊社加工内容、実績についてはホームページをご参照ください( http://www.mirror-polish.com/ )。
基本情報精密ステージ・テーブル
1.ウエハ吸着用テーブルや測定用ステージの新規作成
2.使用中のステージの磨耗修正
φ12インチサイズで平面度0.001mmが実現可能です。
材質はSUS、セラミック、ガラスなどをはじめ、チタン、モリブデンの特殊材での製作も承っております。
ご相談に応じてメッキや蒸着などの表面処理も対応可能です。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 精密測定器ステージ 真空吸着テーブル CMP装置用研磨テーブル その他 治具、Vブロックなど |
取扱企業精密ステージ・テーブル
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