株式会社ティ・ディ・シー 精密ステージ・テーブル

平面度0.001mm以下の精度を実現(φ12インチの場合)

弊社(株式会社ティ・ディ・シー)は、各種素材に対する超精密鏡面研磨加工、その他精密機械加工全般を得意とします。
材質、サイズ、加工精度、その他製品仕様についてお客様のご要望にお応えいたします。お気軽にお問い合わせください。
その他弊社加工内容、実績についてはホームページをご参照ください( http://www.mirror-polish.com/ )。

基本情報精密ステージ・テーブル

1.ウエハ吸着用テーブルや測定用ステージの新規作成
2.使用中のステージの磨耗修正

φ12インチサイズで平面度0.001mmが実現可能です。

材質はSUS、セラミック、ガラスなどをはじめ、チタン、モリブデンの特殊材での製作も承っております。
ご相談に応じてメッキや蒸着などの表面処理も対応可能です。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 精密測定器ステージ
真空吸着テーブル
CMP装置用研磨テーブル
その他 治具、Vブロックなど

取扱企業精密ステージ・テーブル

形状色々.jpg

株式会社ティ・ディ・シー

ポリッシュ・ラッピング、研磨・研削、切断などの精密機械加工を得意としております。 各種超精密測定器も社内に保有しており、ナノオーダーの品質保証が可能です。 部品の材料調達、機械加工から仕上げまで一括管理が可能です。

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