株式会社アプコ 小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能!組込可能な小型電子線鏡筒

小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、
既存の装置へ追加する事ができます。

主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速電子回折)、
AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散分光法)、
EELS(電子エネルギー損失分光法))等に応用できます。

超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わせてお使いください。

【特長】
■低加速・大電流密度
■静電型採用の為、漏洩磁場が少ない
■超高真空対応(ベーキング温度<150℃)
■省スペースでの取付けが可能(取付フランジCF114)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

【仕様(抜粋)】
■加速電圧:~5000V
■プローブ電流:3×10^-12~10^-8A
■最小ビーム径:10nm (加速電圧=5000V、ビーム電流=0.3nA、W・D=8mm時)
■適応真空環境:2×10^-3Pa以下
■最大ベーキング温度:150℃以下
■取付形式:CF114フランジ
■重量:約20kg

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■既存の装置への機能追加
■低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能

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カタログ小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

取扱企業小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

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株式会社アプコ

粒子線を応用した装置及びそれらの周辺装置の開発・製造・販売

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