低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能！組込可能な小型電子線鏡筒
小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、
既存の装置へ追加する事ができます。
主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速電子回折)、
AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散分光法)、
EELS(電子エネルギー損失分光法))等に応用できます。
超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わせてお使いください。
【特長】
■低加速・大電流密度
■静電型採用の為、漏洩磁場が少ない
■超高真空対応(ベーキング温度<150℃)
■省スペースでの取付けが可能(取付フランジCF114)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報小型電子線鏡筒『MINI-EOC』
【仕様(抜粋)】
■加速電圧：～5000V
■プローブ電流：3×10^-12～10^-8A
■最小ビーム径：10nm (加速電圧=5000V、ビーム電流=0.3nA、W・D=8mm時)
■適応真空環境：2×10^-3Pa以下
■最大ベーキング温度：150℃以下
■取付形式：CF114フランジ
■重量：約20kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■既存の装置への機能追加 ■低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ小型電子線鏡筒『MINI-EOC』
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