大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）ビュルケルトジャパン

最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです。

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。
＊保護等級　IP 65　取得機種有り

基本情報大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）

対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。

注：アンモニア仕様は特注できます。

ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り）

価格情報	- 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
価格帯	10万円 ~ 50万円
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	Type8626
用途／実績例	大気圧非平衡プラズマの流体制御プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

カタログ大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）

大気圧プラズマ向けマスフローコントローラ（MFC）

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取扱企業大気圧プラズマ向　マスフローコントローラ（MFC）

ビュルケルトジャパン株式会社

■汎用オンオフバルブ(気体／液体／蒸気） ■調節弁(コントロール弁)（気体／液体／蒸気）　　流量制御・圧力制御・温度制御　など ■電磁弁（気体／液体／蒸気） ■比例電磁弁（気体/液体） ■飲料プラント・製薬プラント用バルブ ■医療機器・臨床検査機器・分析機器用電磁弁　　血液分析・人工透析・インクジェットプリンタ　など ■流量センサ ■圧力センサ ■温度センサ ■レベルセンサ（液面計） ■PHセンサ ■導電率センサこれを用いたカスタマイズシステム提案 70余年の歴史の中で、ビュルケルトはお客様の様々なご要望をお伺いし、独自の研究・開発・設計を行った、他社には無い、多くのユニークな製品を製造しております。