バッチ式プラズマ処理装置　WPA-600S エスクラフト

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。また本体以外はＰＵＭＰのみの省スペース化を実現しております。

関連リンク - https://premium.ipros.jp/scraft/

基本情報バッチ式プラズマ処理装置　WPA-600S

【仕様】
○処理方式同軸バレル型
○処理室円筒・縦型・石英チャンバー
○ＲＦ電源 600～2000Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング
○処理ガスＯ２　1系統増設可（オプション）
○パージガスＮ２
○処理ステップ 10レシピ（3ステップ）＋10ヒーターレシピ
○ウエハーサイズ

●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	【用途】 ○低ダメージで灰化除去（アッシング） ○表面改質 ○その他多様なプロセス用途に利用可能 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせ下さい。