株式会社エスクラフト バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。

小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。また本体以外はPUMPのみの省スペース化を実現しております。

基本情報バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S

【仕様】
○処理方式 同軸バレル型
○処理室 円筒・縦型・石英チャンバー
○RF電源 600~2000W 13.56MHz オートチューニング
○処理ガス O2 1系統増設可(オプション)
○パージガス N2
○処理ステップ 10レシピ(3ステップ)+10ヒーターレシピ
○ウエハーサイズ

●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。

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納期 お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください。
用途/実績例 【用途】
○低ダメージで灰化除去(アッシング)
○表面改質
○その他多様なプロセス用途に利用可能

●その他機能や詳細についてはお問い合わせ下さい。

取扱企業バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S

エスクラフト イメージ.jpg

株式会社エスクラフト

○プラズマ応用装置の開発、製造、販売 ・プラズマ装置 ・サポート業務 ○各種産業機械の開発・製造・販売 ○電磁アクチュエーター(ソレノイド)の開発・製造・販売 ○開発・製造委託業務 ・開発設計 ・製造委託 ○各種治工具類 設計・製作

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