バッチ式プラズマクリーナー　PT-655S エスクラフト

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの２つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。

関連リンク - https://premium.ipros.jp/scraft/

基本情報バッチ式プラズマクリーナー　PT-655S

【仕様】
○処理方式平行平板プラズマ励起方式（ＤＰ／ＲＩＥ切替可）
○処理室アルミニウム（A5052）製
○ステージ段数標準3ステージ（オプション増設1ステージ対応可）
○チャンバー寸法幅500×奥580×高500ｍｍ
○ステージ寸法幅340×奥420ｍｍ
○ＲＦ電源 600Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング
○処理ガス O2、Ar（オプション　1ライン増設可）
○パージガス N2（スローライン有）
○処理ステップ 10レシピ（3ステップ）
○真空ポンプロータリーポンプ　1300L/min
○本体寸法幅880×奥880×高1600ｍｍ
○本体重量約400kg

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納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	【用途】 ○プラスチックパッケージ、ハイブリッドＩＣなどの表面改質 ○フォトレジストアッシング ○繊維や高分子材料などの表面改質 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせ下さい