特殊炭素製品　半導体製造用プロセス装置メルセン・エフエムエー

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の多くの産業向けに様々な製品を供給しています。

グラファイトは耐熱性及び耐腐食性が必要な用途に最適な材料です。
特に液体薬品や化学ガスを使用する用途では、耐腐食性の高いグラファイトの使用が不可避です。

【特徴】
○熱伝導性及び導電性が高い
○高温時にも強度が高く、高温発熱が可能である
○化学ガス及び高温での腐食に強い
○自己潤滑性がある
○熱膨張が小さく、熱衝撃に強い

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用途／実績例	コーティング製品は主に半導体製造工程で多く使用されます。高温で酸化雰囲気の場合はSiCコート、均熱性を重視する場合はパイロ・コートが使用されます。最近では通常のコーティングではなく、ガラス状カーボンを含浸してコーティングする方法が選択される場合があります。