日本フッソ工業株式会社 日本フッソ工業 半導体製造装置

ウエット洗浄装置

高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。

基本情報日本フッソ工業 半導体製造装置

【特徴】
○表面の汚染物質の付着が少なくなる
○パーティクルが発生しにくい
○Siウェハのエッジのダメージが減少する
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上

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取扱企業日本フッソ工業 半導体製造装置

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日本フッソ工業株式会社

特殊エンジニアリングプラスチック特にフッ素樹脂、ポリイミド、PPS等を機器、部品等に焼き付け処理することによりその機器、部品の問題点を解決し、ポテンシャルを大きく向上させます。

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