日本フッソ工業株式会社 日本フッソ工業 半導体製造装置
- 最終更新日:2018-01-19 16:19:46.0
- 印刷用ページ
ウエット洗浄装置
高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。
基本情報日本フッソ工業 半導体製造装置
【特徴】
○表面の汚染物質の付着が少なくなる
○パーティクルが発生しにくい
○Siウェハのエッジのダメージが減少する
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
○薬液透過による外部汚染を防止
○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能
○熱伝導の効率が向上
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報 |
****** お気軽にお問い合わせください |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください |
用途/実績例 | ●詳しくはお問い合わせ下さい。 |
取扱企業日本フッソ工業 半導体製造装置
日本フッソ工業 半導体製造装置へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。