大日商事株式会社 ウエーハ外観検査装置 Wafer Inspection

貴社検査工程の標準化・自動化にお役立て下さい!

Siウエーハだけでなく、従来難しかったサファイア等の透明基板に発生する微小欠陥(異物・キズ等)を検出できます。
従来肉眼でバラツキが多かった検査工程を自動化・標準化できます。

基本情報ウエーハ外観検査装置 Wafer Inspection

(外観検査対象 具体例)
 シリコン・化合物ウエーハ、サファイア・石英ガラス等の各種基板

(検査項目 具体例)
□ マイクロクラック(表裏面・エッジ)
□ チッピング、スクラッチ、ピット等の傷
□ 異物・パターンずれ 等

(主な特徴)
1、上下にカメラ搭載・ダブルアーム機能で高速スループットを実現。
2、良品・不良品の自動判別機能。
3、反りのあるウエーハでも測定可能。
4、要求仕様に合わせて、オーダーメードでシステム化致します。
 □研究・量産の双方に対応可能。

※対象ワーク等を準備して頂ければ、サンプル画像を撮影致します。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 W-AIDシリーズ、E-AIDシリーズ
用途/実績例 (用途・実績)
 シリコン・化合物ウエーハ、サファイア・石英ガラス等の各種基板

(適用プロセス例)
□エッチング後のめっき表面の検査
□ダイシング後のチップ外観検査(パターン面の傷等)
□出荷前検査・受入検査 等 

ラインナップ

型番 概要
W-EID ウエーハ表裏面用装置
E-AID ウエーハエッジ端面用装置

カタログウエーハ外観検査装置 Wafer Inspection

取扱企業ウエーハ外観検査装置 Wafer Inspection

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