磁気浮上型ベアリングレスポンプ　BPS-600 Levitronix Japan

Better pump for Better Yields !

BPS-600ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。
磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。
インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。
電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。

このポンプには、２種類の基本システムがあります。
単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。

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関連リンク - http://www.levitronix.com/ja/home.html

基本情報磁気浮上型ベアリングレスポンプ　BPS-600

【主な特長】
○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない
○微粒子の発生がほとんどない
→接液部に機械的接触がない部品で構成されている為
→半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する
○保守コストを削減
→軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為
○装置の稼働率が高められる
○磁気軸受内蔵のため汚染リスクが減少
○剪断等で影響を受けやすい流体に対し穏やかなポンプ
○粒子やコンタミがポンプ内に滞留しにくい構造
○脈動がない、スムーズな定常流が得られる
○省スペース化を実現

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価格帯	50万円 ~ 100万円
納期	~ 1ヶ月
用途／実績例	【用途】 ◆半導体ウェットプロセス ◆フリップチップ・先端パッケージング ◆太陽電池製造 ◆FPD製造 ◆磁気ディスク基板製造 ◆印刷用インク ◆薬品製造　等。 ※詳細はお問い合わせフォームよりお問い合わせ下さい※