クライオポンプ総合カタログアルバック・クライオ

【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ！

エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか各方面にご利用いただいているポンプです。

基本情報クライオポンプ総合カタログ

【特長】
◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ
◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ
◆極高真空用にベーカブルタイプ
◆分析機器、実験装置などのために防振型
◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを運転するマルチシステム
◆クライオポンプ群の集中管理・制御システム「UCIS/ユーシス」

さらに、再生時間短縮のためにバンドヒーター、ノイズに強いクライオ温度計、水分の多い場合の
排気にスーパートラップ、自動再生装置など豊富なオプションをそろえております。

※詳細はお問い合わせください。