業界初！リアルタイムでプラズマのバックグラウンドを分析！エンドポイントモニタとしても応用可能。驚きの低価格OESソフトウェア
大阪大学との産学共同開発で実現！
業界初の、リアルタイムでプラズマの連続スペクトルによるバックグラウンドを分析するシステムです。
これにより、リアルタイムで分子の変動を監視することができ、プローブ法より早く電子温度推測が可能になりました。
ターゲット分子は自由に設定できますので、プラズマだけでなく幅広い分野に応用可能です。
エンドポイントモニタとしての機能も搭載していますので、製造現場にも活用いただけます。
分光器とソフトウェアのセットで大変お求めやすい価格で導入いただけます。
基本情報リアルタイム発光分光分析システムCrevPEM
【特徴】
■リアルタイムでプラズマの連続スペクトルによるバックグラウンドを分析
■リアルタイムで分子の発光強度を分析
■リアルタイムで分子比率を分析
分光計測データから、バックグラウンド、分子の発光強度、分子の発光比率をリアルタイムで分析、グラフ表示します。
全体の発光強度から、連続スペクトルによるバックグラウンドを分析し、そこからターゲットとなる分子の輝線スペクトルの発光強度 を割り出します。
また、２種類の分子の発光強度の比率をリアルタイム分析することにより、プラズマＣＶＤ炉などの気相状態のコントロールに役立ちます。
◎カスタマイズで機器へのフィードバック制御も可能です。
■その他詳細についてはカタログをご覧ください
| 価格情報 |
- 機能により価格が変動します。お気軽にお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※機能により納期が変動します。お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | CrevPEM |
| 用途／実績例 | 【用途】 プラズマCVD炉の監視 エッチング スパッタリング 医療・食品の滅菌監視 その他エンドポイントモニタとして |
カタログリアルタイム発光分光分析システムCrevPEM
取扱企業リアルタイム発光分光分析システムCrevPEM
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