株式会社MSAファクトリーウエハホットチャック　PH101

小型ウエハチャック、高精度制御！！室温-200℃まで！

半導体ウエハの加熱プロセスに。
各種評価用テーブルとして、お手持ちに装置にインターフェースを合わせます。

◎小型ウエハチャック、高精度制御。（±1.0％）　更に高精度タイプについても相談応。
◎低価格、薄型ウエハホットチャック
◎温度コントローラー（別売り）を使用し、幅広い温度設定が可能（室温―200℃）。
◎カスタム仕様で各種追加機能。位置決めピン、ウエハサイズ切替レバーなど。

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型番・ブランド名	PH101
用途／実績例	半導体ウエハの加熱プロセスに。また、各種評価用のテーブルとして、お手持ちの装置にインターフェースを合せます。