マクミラン　薬液用流量センサ　Ｍｏｄｅｌ　１０６シリーズエア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。ＰＴＦＥ製で耐薬液に優れパーティクルの発生がありません。

モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。
ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。
標準の接続はＰＦＡタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。

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基本情報マクミラン　薬液用流量センサ　Ｍｏｄｅｌ　１０６シリーズ

モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。
ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能です。このウルトラクリーンデザインのホイールはサファイヤのシャフトとベアリングで構成され支えられています。液体の計測回転時には、軽量なので液体に浮遊した状態で回転します。この浮遊効果によりシャフトとベアリングの磨耗が無くなり、パーティクルの発生がありません。
本体はＰＴＦＥを採用し、標準の接続はＰＦＡタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力信号、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。

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型番・ブランド名	モデル　１０６
用途／実績例	接液部材質　テフロン　カルレッツ　サファイヤに適合する液体。 ○フッ酸やその他、酸ラインの測定 ○ＣＭＰスラリーラインの測定 ○純水の測定 ○現像液の測定 ○ほとんど全ての低粘度液体の測定　など