エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部 マクミラン 薬液用流量センサ Model 106シリーズ

15mL~10L/minまで精度良く計測出来る流量センサです。 PTFE製で耐薬液に優れパーティクルの発生がありません。

モデル106は低粘度の液体を15mL/minの低流量から10L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。
ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。
標準の接続はPFAタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。

基本情報マクミラン 薬液用流量センサ Model 106シリーズ

モデル106は低粘度の液体を15mL/minの低流量から10L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。
ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能です。このウルトラクリーンデザインのホイールはサファイヤのシャフトとベアリングで構成され支えられています。液体の計測回転時には、軽量なので液体に浮遊した状態で回転します。この浮遊効果によりシャフトとベアリングの磨耗が無くなり、パーティクルの発生がありません。
本体はPTFEを採用し、標準の接続はPFAタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力信号、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。

価格情報 お問い合わせください。
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型番・ブランド名 モデル 106
用途/実績例 接液部材質 テフロン カルレッツ サファイヤに適合する液体。
○フッ酸やその他、酸ラインの測定
○CMPスラリーラインの測定
○純水の測定
○現像液の測定
○ほとんど全ての低粘度液体の測定 など

カタログマクミラン 薬液用流量センサ Model 106シリーズ

取扱企業マクミラン 薬液用流量センサ Model 106シリーズ

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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社では、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な要素の圧力と流量をテーマに、事業を展開しております。 特に圧力の測定においては、米国セトラシステムズ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内の産業界に供給しております。セトラシステムズ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、ゲージ圧・真空圧・差圧・連成圧・気圧のいろいろな測定モードに対応して、幅広い製品が、さまざまな用途に用意されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもケラー社、BD社、ニッチセンサ社などの製品も扱っています。流量計測センサメーカはエクフロー社、ディグメサ社、マクミラン社の製品などを扱っています。 弊社では、これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計(マノエースシリーズ)の製造もおこなっています。 社内には、産業技術総合研究所の国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、高精度の検査を社内にて行うことができます。 【営業内容】 工業計測機器の輸入・製造・販売

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