高感度DLTSシステム　DLS-1000 日本セミラボ

超高感度DLTSシステム／バルク内欠陥・界面準位測定装置

108 cm3レベルのバルク内欠陥、界面準位の高感度な測定に対応（DLS-1000)。
又、ライブラリーを標準装備しておりますので解析が容易に行えます。

【特徴】
●高感度な汚染検出が可能（2x108 atoms/cm3 ）。
●幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備。
●温度、周波数スキャン、C-V特性等の測定が可能。
●簡単に深さ方向のプロファイル、トラップの分布状態、元素及び欠陥の特定ができ、不良及び結晶欠陥の解析に有効。（測定結果をライブラリーにある汚染物質のDLTS信号の羅列と比較することで、容易に汚染物質の特定が可能）
● 高感度アナログ／デジタル（測定はアナログ、データ処理はデジタル）　ロックイン平均法を採用したユニークなシステムで、且つオペレーターフレンドリーなソフトを装備。
●世界で100台以上の豊富な納入実績

関連リンク - http://www.semilab-j.jp/products/semilab/post.html

基本情報高感度DLTSシステム　DLS-1000

主な測定・評価項目
主な測定・評価項目
・測定Max感度 : C=2x10-5pF for S/N=1
（温度・周波数スキャンに可変時）
・トラップ濃度：Nt＜10-5INd-Na)
・I-V/C-Vプロット
・捕獲断面積測定
・電界依存性測定
・トラップ深さ測定
・Mos測定

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	DLTS-1000
用途／実績例	主な測定・評価項目・測定Max感度 : C=2x10-5pF for S/N=1 （温度・周波数スキャンに可変時）・トラップ濃度：Nt＜10-5INd-Na) ・I-V/C-Vプロット・捕獲断面積測定・電界依存性測定・トラップ深さ測定・Mos測定

ラインナップ

型番	概要
DLS-1000

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取扱企業高感度DLTSシステム　DLS-1000

日本セミラボ株式会社新横浜本社

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