水銀プローブCV/IV測定装置『MCVシリーズ』日本セミラボ

水銀プローブにより電極の形成が不要！R&Dにおける開発時間の短縮、Lowコスト化を提供

『MCV-530/530L/2200/2500』は、半導体シリコンウェハーの電気特性や
MOSデバイスの酸化膜等の特性評価を可能にする装置です。

従来ではウェハーにゲート電極としてPoly-SiやAl等を蒸着し、MOS構造・
ショットキー構造形成後にCV/IV特性評価を行っておりました。

当製品は、装置自身がゲート電極を持つため、メタルゲート作成なしに
酸化膜やウェハーの電気特性を得ることが可能。プロセスモニタリングによる
素早いフィードバックやR&Dにおける開発時間の短縮、Lowコスト化を
提供します。

【特長】
■水銀プローブにより電極の形成が不要
■抜群の再現性
・ショットキー：0.3％(1σ）／MOS：0.1％(1σ）
■ウェハー面内のマッピング可
■新開発水銀交換機構により安全かつ容易な水銀交換が可

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.semilab-j.jp/model/mcv-530-530l/

基本情報水銀プローブCV/IV測定装置『MCVシリーズ』

【主な測定・評価項目】
■化膜中の電荷の評価（VFB）
■界面準位測定（Dit）
■エピ層の抵抗率測定（ρ）
■低ドースイオン注入の部分的ドース量の評価（PID）
■ライフタイム測定（τｇ）
■高／低誘電材料の誘電率測定（ε）
■絶縁膜の信頼性試験（TZDB、TDDB）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	MCV-2500
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業水銀プローブCV/IV測定装置『MCVシリーズ』

日本セミラボ株式会社新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。分光エリプソメーター非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システムナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡）キャリア移動度測定装置非接触CV測定装置ライフタイム測定装置フォトルミネッセンス装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。