全自動拡がり抵抗測定装置　SRP2000 日本セミラボ

全自動拡がり抵抗測定装置

SRP(Spreading Resistance Profiler)装置は，斜め研磨したSiウェハーを深さ方向に２探針をコンタクトさせそのプローブ間の拡がり抵抗値からSiの深さ方向の比抵抗プロファイル，EPI層の厚み，PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定する装置です。

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基本情報全自動拡がり抵抗測定装置　SRP2000

・簡単なキーボード操作によるオペレーションのみで測定が可能となり、熟練作業が不要。
全自動による複数サンプルの連続測定が可能なため、オペレータのシステムへの拘束時間が大幅に短縮。
・CCDカメラ・ビジョンシステムにより２探針とサンプルとの位置合わせを自動化。
・探針のコンディショニングと較正曲線の入力を自動化。
・一度に６つの試料台がマウントでき、多数サンプルの連続測定が可能。
・ＢＡＭレーザーセンサーの採用により、角度補正が自動化しました

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	SRP2000
用途／実績例	SRP(Spreading Resistance Profiler)装置は，斜め研磨したSiウェハーを深さ方向に２探針をコンタクトさせそのプローブ間の拡がり抵抗値からSiの深さ方向の比抵抗プロファイル，EPI層の厚み，PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定する装置です

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取扱企業全自動拡がり抵抗測定装置　SRP2000

日本セミラボ株式会社新横浜本社

■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。分光エリプソメーター非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システムナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡）キャリア移動度測定装置非接触CV測定装置ライフタイム測定装置フォトルミネッセンス装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。