日本セミラボ株式会社 FastGateインライン向けＣＶ・ＩＶ測定装置ECV-2500
- 最終更新日：2020-07-17 08:56:06.0
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FastGate インライン向けＣＶ・ＩＶ測定装置
電極形成が不要な上、ウエハーにダメージを与えず、コンタミネーションも残さないことからインラインで使用出来る装置です。
基本情報FastGateインライン向けＣＶ・ＩＶ測定装置ECV-2500
ＵＳＬ（極浅層<40nm）のイオン注入、低ドース・イオン注入のドース量モニタリング、極薄酸化膜（<20Å）の電気的膜厚測定 SiON 膜，High k膜の誘電率測定、Epi の 抵抗率測定などが可能です。
主な測定・評価項目
・電気的膜厚（CET/EOT)
・フラットバンド電圧（VFB)
・界面準位等（Dit)の測定
・リークIV測定
・USJ（40nm以下）の低ドーズイオン注入量モニタリング
・Epi抵抗率測定
| 価格情報 | お気軽にお問い合わせください。 |
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| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | ECV-2500 |
| 用途／実績例 | ＵＳＬ（極浅層<40nm）のイオン注入、低ドース・イオン注入のドース量モニタリング、極薄酸化膜（<20Å）の電気的膜厚測定 SiON 膜，High k膜の誘電率測定、Epi の 抵抗率測定などが可能です。 主な測定・評価項目 ・電気的膜厚（CET/EOT) ・フラットバンド電圧（VFB) ・界面準位等（Dit)の測定 ・リークIV測定 ・USJ（40nm以下）の低ドーズイオン注入量モニタリング ・Epi抵抗率測定 |
取扱企業FastGateインライン向けＣＶ・ＩＶ測定装置ECV-2500
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■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡） キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。
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