日本セミラボ株式会社 薄膜膜厚・ヤング率測定装置 SW3300
- 最終更新日：2020-07-17 08:56:06.0
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薄膜膜厚・ヤング率測定装置
非接触、非破壊でウェハー基板上の薄膜膜厚、膜のヤング率、
ポアソン比を測定することができる。
基本情報薄膜膜厚・ヤング率測定装置 SW3300
パルスレーザーを薄膜表面に 照射し、薄膜上で熱に変換されたエネルギーが
薄膜を熱膨張させる。
局所的に膨張した薄膜表面では音響振動が発生する。この音響振動の周波数
を物理モデルに導入し薄膜の膜厚やヤング率、ポアソン比を算出する。
| 価格情報 | お気軽にお問い合わせください。 |
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| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | SW-3300 |
| 用途／実績例 | ・膜厚測定スループット: 55 枚/ 1 時間（1 パラメータ測定） 9 点測定（パターン認識ありの場合） 光学系 ・繰り返し再現性σ: 膜厚: 0.25％ ヤング率: 0.5％ （Low-k 膜） ・光学系: プローブスポットサイズ: 15×30 μm 励起音響波長: 2×11 μm ・ロードポート FOUP, SMIF, or OC; dual ・ミニエンバイロメント Class 1000 のクリーンルーム環境でClass 1 対応 ・オートメーション GEM 300, SEMI 300mm, SEMI S2-0200, and CE 等に準拠 |
取扱企業薄膜膜厚・ヤング率測定装置 SW3300
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