日本セミラボ株式会社 サーフェイスチャージプロファイラー QCS2500
- 最終更新日：2020-07-17 08:56:43.0
- 印刷用ページ
非接触でエピウェハの抵抗率をモニター可能！
QC2500シリーズは、非接触でエピタキシャルウェハーの抵抗率をモニターすることができます。測定原理としてサーフェイスフォトボルテージ（ＳＰＶ）法を用いてウェハー上にパルス光を照射することによりウェハー表面電位変化を検出し、空乏層幅を測定します。強反転状態の空乏層幅が不純物濃度に比例することにより、不純物濃度測定を行い、抵抗率に換算（ASTM)します。
基本情報サーフェイスチャージプロファイラー QCS2500
■特徴
■非破壊・非接触測定 モニター
・モニターウェハー不要
■ウェハー表面処理装置内臓
・ＵＶ＋コロナチャージ 及び ＲＯＳＴによる測定前の表面処理が可能
■高スループット
・測定スピード／ １ポイント ０．１秒
| 価格情報 | お問合せください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | QCS2500 |
| 用途／実績例 | 非接触でエピタキシャルウェハーの抵抗率をモニターすることができます |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| QCS2500 |
取扱企業サーフェイスチャージプロファイラー QCS2500
-
-
■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡） キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。
サーフェイスチャージプロファイラー QCS2500へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。