エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

最終更新日：2012-11-27 10:11:27.0
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モデルＵ７０９は腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０００ｍＬ／ｍｉｎまでの、間欠運転、連続運転を精度良く計測出来ます。

モデルＵ７０９シリーズは、腐食性の液体を７ｍＬ／ｍｉｎの低流量から〜１０００ｍＬ／ｍｉｎの流量まで５種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。
間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間５００ｍｓｅｃ、吐出量１ｍＬからの液体を検出できます。
接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用することにより、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。パーティクル発生がなく、優れた再現性を実現し、腐食性のある化学薬品や溶剤の長期に渡る正確な計測が可能となります。圧力接続はフレアータイプの継手を採用し簡単に接続でき、流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続には１．８ｍのケーブルが付属しています。電源や出力はいくつかのオプションから選択できるので、各種の使用用途に合わせて利用できます。

基本情報マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９

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型番・ブランド名	マクミラン　超高純度用　薬液流量センサ　Ｍodel　Ｕ７０９
用途／実績例	接液部材質　テフロン　カルレッツ　サファイヤに適合する液体。 ■間欠運転、連続運転の液体の計測 ■５００ｍｓｅｃ／１ｍＬサイクルの検出が可能 ■フォトレジスト液の吐出量の監視 ■粘度８０ｃｓｔまで対応 ■フッ酸やその他、酸ラインの測定 ■ＣＭＰスラリーラインの測定 ■純水の測定 ■ほとんど全ての低粘度液体の測定　など