ブロンコスト・ジャパン株式会社 メタルシール型マスフロー/プレッシャーメータ/コントローラ
- 最終更新日:2022-06-09 08:33:35.0
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半導体産業や高純度ガスを扱うアプリケーションに。特許取得メタル/メタルシール機構により、長期のリークタイトネス保証!
メタルシール デジタル・マスフロー/プレッシャメータ/コントローラのご紹介です。 機器は高品質な表面仕上げで、モジュールコンセプト構造のメタルシールですから長期間のリークタイトネスを保証します。 本機は高精度・すばらしい温度性・及び高速応答を有するPCボードを備えています。 最新のEL-FLOWシリーズはマルチガス/マルチレンジ機能も加わり、さらに(OEM)顧客へそのアプリケーションにおいて最適なフレキシビリティーとプロセス効率を提供します。 詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。
基本情報メタルシール型マスフロー/プレッシャーメータ/コントローラ
【特長】
●特許取得メタル/メタルシール機構により長期のリークタイトネス保証(対大気)
●エレクトリックポリッシュ接ガス部品
●高速応答、高繰返し性
●流量レンジ:0.1...5sccm~0.6...100 slm
N2ベース(ご要求により高流量可能)
●マルチガス/マルチレンジ機能
●低圧損、又は真空適用可能(オプション)
●プレッシャーメータ/コントローラレンジ:0.1...5~18...900 psi
●サーフェースマウント可能(オプション)
●RoHS対応
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