トークシステム株式会社 THK 精密ステージ 高応答XYステージ EX

XY各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました!

精密ステージ 高応答XYステージ EXは、クロスLMガイドCSR形を採用した、サドルを使用しない構造のシンプルXYステージです。2軸のモータを固定する特殊な構造を採用することにより、動作部の重量を極限まで軽量化し、XY各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を可能としました。

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基本情報THK 精密ステージ 高応答XYステージ EX

【特長】
○シンプルなXY構造
→案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。

○すぐれた応答性
→クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。
 これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。

○高剛性XYステージ
→XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、
 ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。

○ガタのない連結機構
→X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。
 トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。


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取扱企業THK 精密ステージ 高応答XYステージ EX

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機械要素部品の卸・小売販売 機械要素オリジナル製品(TPS製品)の設計・販売

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