非接触、オンラインでシート抵抗測定が可能！最大20mmのギャップで測定可能です
NAGY社の非接触表面抵抗測定器は、非接触、オンラインにてシート抵抗測定が可能です。渦電流磁界を用いた非接触式シート抵抗測定器で、非接触、オンラインにて非導電性基板上の導電膜を測定可能です。ITO等の透明電極や金属膜成膜プロセスのオンラインモニタリングに最適。既存成膜装置、搬送ラインへの組込が可能です。また、多様なアプリケーションに対応可能で、最大23mmの開口部により様々な基板（ガラス、プラスチックフィルム等）に対応します。多チャンネル対応（1～99チャンネル）で、常圧、真空下での稼動が可能です。
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基本情報非接触表面抵抗測定器
【特徴】
○非接触、オンラインにてシート抵抗測定が可能
○渦電流磁界を用いた非接触式シート抵抗測定器
○非接触、オンラインにて非導電性基板上の導電膜を測定可能
○ITO等の透明電極や金属膜成膜プロセスのオンラインモニタリングに最適
○既存成膜装置、搬送ラインへの組込が可能
○多様なアプリケーションに対応可能
○最大23mmの開口部により様々な基板（ガラス、プラスチックフィルム等）に対応
○多チャンネル対応（1～99チャンネル）
○常圧、真空下での稼動が可能
○容易なキャリブレーションとメンテナンス
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○プラスチックフィルム、ガラス基板、ペーパー、シリコンウェハ上の金属膜 ITO膜、電磁波遮蔽膜等のシート抵抗測定 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 |
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