マニュアル露光装置ウシオライティング

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です｡
オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡
なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､ランプハウスが所定の位置に移動し､設定光量露光､自動退避までを行います｡

基本情報マニュアル露光装置

主な特長
1.フォトマスクとウエハの平行出しは､ウエハテーブルを空気の層で浮遊させ､アライメント機構部に内蔵されたエアバネでフォトマスクに正確にコンタクトする方式を採用しています｡
2.アライメント顕微鏡は､アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能です(ロック機構付)。
3.アライメント顕微鏡はズーム式の高倍率タイプで､照明はレジストにより色の選択が可能なLED照明を搭載しています｡
4.作業のタクトを高めるために､ランプハウスとアライメント顕微鏡が自動で挿入､退避することから､生産性アップを実現します｡

価格情報	オープン
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	UPE-1102LU
用途／実績例	エレクトロニクス分野 ●マイクロデバイス－半導体､各種デバイス､センサ(ウェハ､ガラス基板などのフォトリソ工程)など ●LED

詳細情報マニュアル露光装置

: 製品の主な特長
写真左：アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能な顕微鏡､写真中央：ロック機構の付いたアライメント顕微鏡､写真右：照明はレジストにより色の選択が可能なLED照明を搭載

カタログマニュアル露光装置

マニュアル露光装置

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取扱企業マニュアル露光装置

ウシオライティング株式会社

一般照明､特殊照明･ランプでは､LED電球･ライト､ステージ･スタジオ･演出照明用ランプから､検査･特殊照明用ランプ､投光器､赤外線ヒータ､セキュリティ用赤外線LED照明､植物育成用LED照明などにより､ユーザが必要とする｢光｣に対して､最適なランプ､光源で応えます｡産業システム・機器では､露光装置をはじめとする「光」を応用した製品､射出成形機､プラスチック関連機器・素材､継手､チューブなど広範なプラスチック関連製品､各種ロボット､自動組み立て機､ストローアプリケータ､外観検査装置などのFA･食品・包装関連システムの販売をつうじて､ユーザが抱える問題に対して、最適なソリューションを提供します。