加熱工程ウエハホットチャック　PH070 MSAファクトリー

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

加熱工程ウエハホットチャック　PH070は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レザーマーキングによるガイド表示、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。
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関連リンク - http://msa-factory.co.jp/category/hot/

基本情報加熱工程ウエハホットチャック　PH070

【特徴】
○最高温度300℃対応
○小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート
○ウエハホットチャック・ホットステージ
○前工程、アセンブリ工程、評価・分析プロセスに
○既存ステージなどに増設可能です
○ウエハ（基板）サイズ50~70mm　　　　　　　　　　
○温度範囲、メカインターフェース各種対応いたします
○OEM対応品
○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え

【仕様】
○温度制御範囲：室温～300℃
○チャック面サイズ：70×70mm
○温度精度：±1.5％

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