低温ＣＶＤは、１００℃以下での成膜や、異形サイズの基板へも、樹脂、フィルムなどの材質へも成膜可能。
PE=CVDのSiO2、SiNを中心に成膜の受託加工を行っております。
厚膜の熱酸化膜への対応、小数枚の熱酸化膜へのご要求にも
在庫品で対応できる場合がありますので、お気軽にお問い合わせください。
その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
基本情報１枚からの成膜が可能 成膜加工（CVD）
【特長】
○１枚からの成膜が可能です。
○低温ＣＶＤは、１００℃以下での成膜が可能です。
○異形サイズの基板への成膜も対応可能です。
○樹脂、フィルムなどの材質への成膜も可能です。
○パターニング後の基板も投入可能です。
○温度条件を変えての成膜対応可能です。
○薄膜成膜にて、±4％以下での成膜加工も可能です。
●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
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カタログ１枚からの成膜が可能 成膜加工（CVD）
取扱企業１枚からの成膜が可能 成膜加工（CVD）
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