１枚からの成膜や異形サイズの基板への成膜も対応可能
PE-CVD成膜の受託加工を中心にスパッタ、イオンプレーティング、蒸着、
EB蒸着による成膜も行っております。
大口径基板への成膜も可能なターゲットもございますので、
お気軽にお問い合わせください。
その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
基本情報ガラス基板などへの対応可 成膜加工（PVD）
【特長】
○１枚からの成膜が可能
○異形サイズの基板への成膜も対応可能
○樹脂、フィルムなどの材質への成膜も可能
○メタルマスクを使用しての部分的成膜も可能
○パターニング後の基板も投入可能
○膜種によっては、Φ３００ｍｍ以上の基板対応が可能
●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | 詳細はお問い合わせ下さい。 |
カタログガラス基板などへの対応可 成膜加工（PVD）
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