小数枚の加工への対応可。シリコンウエーハ以外の基板投入可能。
6インチのMEMS加工を中心に展開をしておりますが、
8インチ、12インチへの部分的なパターニングの対応も可能です。
基板サイズ、パターン仕様に応じて装置を選定します。
１枚からの対応も可能です。
フォトリソ（アライナ、KｒＦ、ＥＢ）やＷｅｔエッチング、ミリング、ＲＩＥに対応しております。
シリコン以外の基板も対応しますので、お気軽にご相談ください。
その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
基本情報マスクの製作からパターニングまでの一貫製作 「パターニング」
【加工例】
○シリコン深堀
○バンプ形成
○Siフォトエッチング
○ALフォトエッチング
○Crフォトエッチング
○ITOフォトエッチング
○Siピラー形成
○CSP、WCSP
○石英フォトエッチング
○Cuフォトエッチング
○Auフォトエッチング
○リフトオフ加工
●その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせ下さい。
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カタログマスクの製作からパターニングまでの一貫製作 「パターニング」
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