薬液管理装置CMS ナガセテクノエンジニアリング

薬液の特性を考慮した管理手法の構築技術と薬液の精製技術

化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成

関連リンク - http://www.nagase-nte.co.jp/product/cms.html

基本情報薬液管理装置CMS

廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成
薬液を管理運用(Chemical Management System)する事により、デバイス製造プロセスの安定化と共に、化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成しています。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	半導体・液晶パネル業界において、フォトリソグラフィプロセスによるデバイス製造で用いられる薬液を管理運用

ラインナップ

型番	概要
DDS-21(S) 現像液希釈供給装置	現像液の品質安定を確保
DDS-11 現像液濃度管理装置	現像液の2つの成分濃度をリアルタイムで自動管理
DMS-II 現像液回収再生装置	現像液の成分濃度を一定に再生・供給
DDS-32S 現像液希釈・濃度管理装置	現像液の希釈と、現像液の成分濃度管理機能を一体化
DPF 現像液精密濾過装置	現像液の再生効率を更に向上させ、再生現像液の品質安定も可能
RMS 剥離液濃度管理装置	剥離液の液ライフを延ばし、使用量、廃棄量を削減
SMR シンナー再生装置	オンサイトで安全にシンナー（有機溶剤）の再生が可能

お問い合わせ

取扱企業薬液管理装置CMS

ナガセテクノエンジニアリング株式会社横浜センター

１．低温・真空関連機器の販売及び保守・メンテナンス２．低温関連機器の設計・開発、製造及び販売３．半導体、液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置の設計・開発、販売及び保守・メンテナンス４．外観検査装置の設計、据付及び保守・メンテナンス５．その他半導体・液晶業界等向け装置の開発、販売及び保守・メンテナンス６．農業関連製品・システムの開発及び保守・メンテナンス