クライオポンプ　MARATHON CP-16 CRYOPUMP ナガセテクノエンジニアリング

スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。

MARATHON CP-16 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.nagase-nte.co.jp/product/cryopump/cryop…

基本情報クライオポンプ　MARATHON CP-16 CRYOPUMP

【仕様】
○窒素（L/s）　4,800
○水（L/s）　17,300
○アルゴン（L/s）　4,100
○水素（L/s）　12,000
○アルゴンスループット（Torr - L/s）　11.4
○アルゴン排気容量（Std L）　5,500
○水素排気容量（Std L）　50
○クロスオーバー（Torr - L）　500
○クールダウンタイム（分）　135
○ポンプユニット重量（kg）　50
○H寸法（mm)　633
○メンテナンスサイクル（時間）　13,000

【納入範囲（標準構成）】
○CP-16クライオポンプ
○ヘリウム圧縮機（HC-8E4 or F-70L/H）
○3Mフレキシブルガスホース
○3Mコールドヘッドケーブル
○ガスホース接続用レンチキット

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取扱企業クライオポンプ　MARATHON CP-16 CRYOPUMP

ナガセテクノエンジニアリング株式会社横浜センター

１．低温・真空関連機器の販売及び保守・メンテナンス２．低温関連機器の設計・開発、製造及び販売３．半導体、液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置の設計・開発、販売及び保守・メンテナンス４．外観検査装置の設計、据付及び保守・メンテナンス５．その他半導体・液晶業界等向け装置の開発、販売及び保守・メンテナンス６．農業関連製品・システムの開発及び保守・メンテナンス