ナガセテクノエンジニアリング株式会社 クライオポンプ MARATHON CP-250LP

よりクリーンな真空、より高度な真空制御、より広範な真空圧力領域

MARATHON CP-250LP CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報クライオポンプ MARATHON CP-250LP

【仕様】
○窒素(L/s) 3,000
○水(L/s) 6,300
○アルゴン(L/s) 2,500
○水素(L/s) 5,000
○アルゴンスループット(Torr - L/s) 11.0
○アルゴン排気容量(Std L) 1,600
○水素排気容量(Std L) 30
○クロスオーバー(Torr - L) 300
○クールダウンタイム(分) 110
○ポンプユニット重量(kg) 20
○HxL寸法(mm) 181 x 591
○メンテナンスサイクル(時間) 13,000

【納入範囲(標準構成)】
○CP-250LPクライオポンプ(ISO 250)
○ヘリウム圧縮機(Zephyr(R), HC-4E1, HC-8E4 or F-70L/H)
○3Mフレキシブルガスホース
○3Mコールドヘッドケーブル
○ガスホース接続用レンチキット

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取扱企業クライオポンプ MARATHON CP-250LP

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ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

1.低温・真空関連機器の販売及び保守・メンテナンス 2.低温関連機器の設計・開発、製造及び販売 3.半導体、液晶パネル等製造用薬液の調整・回収装置の設計・開発、販売及び保守・メンテナンス 4.外観検査装置の設計、据付及び保守・メンテナンス 5.その他半導体・液晶業界等向け装置の開発、販売及び保守・メンテナンス 6.農業関連製品・システムの開発及び保守・メンテナンス

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