精密で安定な蒸着をお手伝いいたします
最新テクノロジーによる水晶膜厚モニタをベースに、レートや膜厚の監視、コントロール、蒸着シーケンスの制御を行います。高分解能で高速な計測による精密で安定な蒸着が可能です。拡張性、汎用性に優れた設計で、様々な用途に対応可能です。
基本情報蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）
・マルチセンサー機能/標準で２センサの同時計測が可能、8センサまで拡張できます。複数のセンサは水晶寿命時の自動切り替えのバックアップ用として使用したり、複数の位置のレート測定値を平均演算処理してレート/膜厚制御に使用するなどの利用ができます。
・多種多様な多層膜のプログラムが可能/98種のフィルムプログラムを定義可能で、それらの組み合わせで99ステップまでの多層膜シーケンスをプログラム可能。さらにこのレシピを9個まで記憶できますので、どんな多層膜蒸着のシーケンスにも対応できます。
・複数蒸発源コントロール/標準で2チャンネル（切替式）の蒸発源の制御ができます。オプションで8チャンネルまで拡張可能。
・豊富なI/O、自由なカスタマイズが可能/I/Oは32まで拡張可能。I/Oと内部動作のプログラミングがタッチパネルで容易に行えます。フロントパネルにはプログラマブルなボタンとLEDランプが4個付属しており、自由にカスタマイズ可能です。
・多種なセンサを用意/ベーカブル/ノンベーカブル、シャッター付センサ、デュアルセンサ、6連センサなど
| 価格帯 | 50万円 ~ 100万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 真空蒸着装置等 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| Model 851 膜厚モニタ | |
| Model 861 膜厚コントローラ |
取扱企業蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）
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