株式会社ヒューブレイン ウエハ・チップ外観検査装置

基本情報ウエハ・チップ外観検査装置

【特長】
○ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能
○多様なパターンのチップの検査が可能
○品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能
○組込用顕微鏡を使用してサブミクロンの分解能での検査が可能（オプション）
○画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能
○一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を
　使用した検査が可能
○オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備
○厚みの公差が150µmあるワークでも検査・排除可能
　（高速な高さ測定、高さ補正機能付き）
○全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり（オプション）
○シート越しでの裏面検査が可能（オプション）
○NGマーキング（インカー・レーザーマーカー）、バーコード自動読み取り可能
　（オプション）
○廉価タイプとしてオートローダーや排除機構を装備しないHS-256Gもあります

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取扱企業ウエハ・チップ外観検査装置

株式会社ヒューブレイン

・多機能画像処理エンジン　Hu-Dra　　　・高速部品移載装置 ・バラ to トレイ外観検査装置　　　・電子部品6面外観検査装置 ・トレイ外観検査装置　　　・高機能卓上型外観検査装置　Hu-Cube ・通信／高周波部品、デバイスモジュール外観検査装置 ・自由角度外観検査装置　　　・小型ガラスパネル外観検査装置 ・ウエハ外観検査装置（ダイシング前） ・ウエハチップ外観検査装置（ダイシング後） ・円柱型部品全面外観検査装置 ・ステレオカメラ方式　高速＋高分解能3D検査システム　　　・計数機 ・容器外面印刷検査システム　　　・容器内面検査システム ・シリンジ検査装置　　　・Lib極板外観検査装置 ・太陽電池セル外観検査装置　　　・ペレット・パウダ異物検査装置 ・切削工具検査装置　　　・シート外観検査システム　　等

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