エコデザイン株式会社 オゾン特殊装置設計・製作 純オゾン製造装置
- 最終更新日:2019-06-05 15:49:08.0
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真空に濃度90%以上のオゾンを導入するための装置です。
純オゾン製造装置は、真空に濃度90%以上のオゾンを導入するための装置です。純オゾンは、液体窒素でオゾンを液化させることで捕集し、それをヒーターで気化させることにより気体状の純オゾンとして真空系に導入させております。ヘリウム冷却器を使わない構成で、ローコストです。純オゾン捕集部に透明な部材を用いており、生成された青色の液状純オゾンを肉眼で目視することが出来ます。
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基本情報オゾン特殊装置設計・製作 純オゾン製造装置
【特徴】
○真空に濃度90%以上のオゾンを導入するための装置
○純オゾンは、液体窒素でオゾンを液化させることで捕集
→ヒーターで気化させることにより気体状の純オゾンとして真空系に導入
○ヘリウム冷却器を使わない構成で、ローコスト
○純オゾン捕集部に透明な部材を用いている
→生成された青色の液状純オゾンを肉眼で目視することが出来る
○純オゾン連続生成
→圧力計の信号によりヒーターを制御し、常時一定圧力で純オゾンを供給可能
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用途/実績例 | 【利用分野例】 ○酸化膜形成 ○真空装置への導入(オゾンビーム) ●詳しくはお問い合わせ下さい。 |
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