高速遮断バルブとベントバルブの2つの機能を持った電磁バルブ
特徴
2つの機能をもちます
● 真空チャンバまたはジェットポンプ(ディフュージョンポンプなど)と
粗引きポンプを遮蔽する高速遮蔽高真空遮断バルブ
● ベントバルブとしても機能
● 停電時に高速で遮蔽
● 開放動作は吸入側が真空引きされたときに行われるように設計されています
● 遅延遮蔽動作も可能
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基本情報【2つの機能を集約】真空安全バルブ SECUVAC
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型番・ブランド名 | SECUVAC |
用途/実績例 | 停電時緊急遮断バルブ |
取扱企業【2つの機能を集約】真空安全バルブ SECUVAC
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