半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」 MSAファクトリー

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」は、加熱源にセラミックヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。
温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。

【特徴】
○空冷にて、最高温度400℃対応
○小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適
○観察窓により、ワークの状態が視認できる
○バルブ動作　自動対応（レシピに合わせてプログラム可能）

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://msa-factory.co.jp/category/hot-2/

基本情報半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

【標準仕様】
○温度設定範囲：室温～400℃（カスタマイズ可）
○ワークサイズ：最大200×200mm（カスタマイズ可）
○昇温スピード：100℃/min（カスタマイズ可）
○圧力範囲：-100KPa（真空）～0.02MPa（N2ガス充填時）
○酸素濃度計、ピラニ真空計、温度モニター用ポート

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用途／実績例	【アプリケーション例】 ○金属、ウエハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での　高速昇温加熱プロセス、はんだ付け ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。