プラズマクリーナー　V1000/1000X/1000XS ヤマト科学

基本情報プラズマクリーナー　V1000/1000X/1000XS

13.56MHzの高周波電力を印加した
プラズマクリーナー

【特徴】
○RIE・DPの両モードを搭載
○電極2段式方式を採用し、処理効率がアップ（V1000X）
○プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能
○高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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型番・ブランド名	V1000/1000X/1000XS
用途／実績例	【用途】 ○シリコンウエーハのアッシング、エッチング ○基板のデスミア処理 ○IC組み立て、BGA/CSP基板処理 ○エレクトロニクス関連部品電子材料のドライクリーニング ○自然酸化膜・有機物の除去 ○界面活性処理 ○表面汚染物の除去

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取扱企業プラズマクリーナー　V1000/1000X/1000XS

ヤマト科学株式会社

汎用科学機器、研究設備の提供を通じて、研究インフラ・快適環境の創造に貢献します。計測・検査・評価機器の提供を通じて、エレクトロニクス産業の生産性（歩留）向上に貢献します。分離・合成・精製・解析装置の提供を通じて、ゲノム創薬等ライフサイエンスの革新に貢献します。微細加工観察計測装置の提供を通じて、ナノテクノロジー構造物、物性評価等の技術革新に貢献します。環境関連機器及び評価・分析技術の提供を通じて、環境ホルモン対策等地球環境の改善に貢献します。先端的なR&D現場におけるシーズ・ニーズを育成し、新しい産業・ビジネスの創出に貢献します