株式会社MSAファクトリー 高温ウエハ加熱用ホットプレート 「PH860」
- 最終更新日：2014-04-07 11:08:45.0
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プレート、リフターピンは、超耐熱合金にて製作しております。
高温ウエハ加熱用ホットプレート 「PH860」は、リフターピン駆動によりウエハなどの上下搬送が可能です。
プレート、リフターピンは、超耐熱合金にて製作しております。
安全カバー（オプション）は、上開口扉付、扉無しなどのバリエーションがございます。
【特徴】
○最高温度 800℃ 対応
○ホットプレートサイズ □175mm
○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御、流量制御が可能
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報高温ウエハ加熱用ホットプレート 「PH860」
【仕様】
○温度制御範囲：50～800℃
○ホットプレートサイズ：175×175mm
○温度精度：±5%
○安全カバー：オプション対応
○リフターピン：カスタマイズ対応
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カタログ高温ウエハ加熱用ホットプレート 「PH860」
取扱企業高温ウエハ加熱用ホットプレート 「PH860」
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数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。
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